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            非蒸散型吸氣泵

            非蒸散型吸氣泵多用鋯鋁合金吸氣材料(84%鋯、16%鋁)在高溫下吸附活性氣體的特性而制成的泵。該泵結構簡單,體積小,造價

            低,操作安全可靠,維修方便,清潔無油。對活性氣體尤其是對氫具有很高的抽氣能力。但不能抽惰性氣體。此外還有一種鋯釩鐵

            合金材料(70%鋯,24.6%釩,5.4%鐵)作為吸氣劑的活化溫度450℃,室下對活性氣體具有較大的抽速。

            鋯鋁泵對氫及其同位素氘、氚的吸氣是可逆的,而對其他活性氣體的吸氣是以穩定的化學物擴散到吸氣劑體內,但存在飽和壽命問

            題。在10-8~1Pa壓力范圍內抽青速率幾乎保持恒定。對氣體活性氣體CO、CO2、O2、N2、H2O等的吸氣抽率,在壓力低于10-3Pa時

            ,在400℃溫度下達到飽和。該泵對活性氣體的吸氣速率隨著吸氣劑吸氣量的增加而降低。當吸氣速率隨著吸氣量的增加而達到名義

            抽速的80%時,要在高溫下再激活處理。在激活的次數一般可達20次。

            這種泵可用在受控裝置中儲存和釋放H2及其同位素氘、氚;在高等加速器的真空系統中與分子泵或濺射離子泵同時工作,能提高真

            空系統的極限真空;還可以用于轉運H2及其同位素;用在超高真空裝置時,連同裝置一起放進烘烤裝置中,不用外加電源便可作烘

            烤時的維持泵使用;也可用于濺射離子泵的啟用。


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